第276章
“开始测试。”
同样戴着眼镜的曹育华慎重的点点头,进行一系列操作,开始测试。
测试很快,过了一会,被放慢无数倍的测试过程展现在大家眼前。
伴随着一串又一串的数据渐渐的浮现。
严谨站在林曦月旁边,开始记录这一串又一串的数据,脸上开始出现激动的神情。
“镜片对euv的吸收率,5。”
“冷却系统成功处理掉镜片吸收的热量。”
随着严谨的声音在寂静的研究室里响起,其余人的脸上开始越来越激动。
这个数据可以说是目前世界上最好的镜头了吧!
要知道国外的镜头就算做的再好,镜片对euv的吸收率都要30。
但是光刻机中,一整个反射系统就需要十一枚这样的反射镜。
这也导致最后真正用于光刻芯片的光强只剩些2。
林曦月的嘴角弯起,露出一抹笑容,这个数据的镜头,已经够用了。
华国现在的镜头都需要从国外引入,有了它,国外都得来跟华国引入镜头!
“老大!
我们做出来了!
成功了!”
严谨汇报完数据,看着真空状态下的镜头,神情激动地说道。
林曦月点点头,“嗯,做出来了。”
镜头算是他们做光刻机的一大门槛,所以他们才会那么激动。
方院士抹了抹脑门上的汗,这个数据,总算是没有白费力气。
想着镜头成功了,林曦月想给他们几人放个假休息一天。
没想到却被众人给拒绝了。
“老大,我们不需要休息。”
“对啊老大,我们要一鼓作气!
再接再厉哈哈哈哈”
严谨也一脸严肃的点点头,“我们要等光刻机真的成功再休息!”
见几人一脸光刻机不出来我们不放假的模样,林曦月哭笑不得的摇摇头。
谁说她是研究狂魔来着?
感觉她手下的人才是真正的研究狂魔。
在下午时候,她将光刻机的进展汇报给罗甘。
自从他们开始研究之后,在光电所就跟消失了一样。
也只有罗甘偶尔想起来光电所还有这么一个项目,没事就溜达过去瞅一眼。
后面忙起来了也没有什么时间去看他们,算起来,也有半个多月没有去他们研究室溜达了。
所以当罗甘看到那一份来自林曦月工作汇报邮件的时候,不由得心生诧异。
他们研究室有进展了?
他都已经做好一两年看不到工作汇报的准备了。
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